問答題

【簡答題】對凈化間做一般性描述。

答案:凈化間是硅片制造設(shè)備與外部環(huán)境隔離,免受諸如顆粒、金屬、有機分子和靜電釋放(ESD)的玷污。一般來講,那意味著這些玷污在...
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