問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入原理

答案:離子注入是將被摻雜的雜質(zhì)原子或分子進(jìn)行離子化,經(jīng)磁場(chǎng)選擇和電場(chǎng)加速到一定的能量,形成一定電流密度的離子束流后被直接打進(jìn)(...
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