問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】為什么使用外延生長(zhǎng)難以得到突變結(jié)？

答案： 通常希望外延層和襯底之間界面處的摻雜濃度梯度很陡，但是由于高溫下進(jìn)行外延生長(zhǎng)，襯底中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入外延層，使得外延層和襯底...
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