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問答題

【簡答題】由外延生長的Grove模型得到外延生長速率與反應物濃度成正比，對于以SiCl₄為原料的硅外延為什么隨SiCl₄濃度的增加會出現負的生長速率？

答案：

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答案：

【簡答題】詳述影響硅外延生長速率的因素。

答案：

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