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振幅測(cè)量型準(zhǔn)直儀提高基準(zhǔn)精度的常用方法:()。
答案:
菲涅耳波帶片法、位相板法
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激光準(zhǔn)直儀按工作原理可分為:()。
答案:
振幅測(cè)量法、干涉測(cè)量法、偏振測(cè)量法
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直線(xiàn)度誤差是指()。
答案:
被測(cè)實(shí)際輪廓線(xiàn)相對(duì)于理想直線(xiàn)的變動(dòng)量
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