填空題

直線度誤差是指（）。

答案： 被測(cè)實(shí)際輪廓線相對(duì)于理想直線的變動(dòng)量
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填空題

反射衍射測(cè)量法利用（）來進(jìn)行衍射測(cè)量的。特點(diǎn)：（）、入射光可以以一定角度入射，布置方便。
答案： 試件棱緣和反射鏡構(gòu)成的狹縫；靈敏度提高一倍
問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述激光衍射測(cè)量方法。
答案： 1、間隙測(cè)量法
2、反射衍射測(cè)量法
3、分離間隙法
4、互補(bǔ)測(cè)屏法
5、愛里斑測(cè)量法
6、衍射頻譜檢測(cè)法
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