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【簡答題】Al/Si接觸中的尖楔現(xiàn)象？

答案：Al/Si接觸時，Si在Al膜的晶粒間界中快速擴散而離開接觸孔的同時，Al就向接觸孔內運動，填充因Si離開而留下的空間。...

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答案：1、MOSFET柵電極材料，
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【簡答題】Al膜制備方法有？
答案：
電阻加熱蒸發(fā)法、電子束蒸發(fā)法、濺射法

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