問答題

【簡答題】切片可決定晶片的哪四個參數？

答案：

切片決定了硅片的四個重要參數：晶向、厚度、斜度、翹度和平行度。
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【簡答題】將硅單晶棒制成硅片的過程包括哪些工藝？
答案：

包括：切斷、滾磨、定晶向、切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光、清洗、檢驗。
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【簡答題】小尺寸MOS器件中的二級效應包括哪些？
答案：

小尺寸MOS器件中的二級效應包括：短溝道效應；窄溝道效應；飽和區(qū)溝道長度調制效應；遷移率退化和速度飽和；熱電子效應。
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