名詞解釋

答案：與擴(kuò)散實(shí)在較低溫度下，采用恒定表面源擴(kuò)散方式，在硅片表面擴(kuò)散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì)，由于溫度較低，且時間...

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答案：如果擴(kuò)散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個擴(kuò)散過程中這層雜志作為擴(kuò)散的雜質(zhì)源，不再有新源補(bǔ)充，這種擴(kuò)散方式稱為有限表面...