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預(yù)淀積
答案:
與擴(kuò)散實(shí)在較低溫度下,采用恒定表面源擴(kuò)散方式,在硅片表面擴(kuò)散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì),由于溫度較低,且時間...
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名詞解釋
兩步法擴(kuò)散
答案:
為了同時滿足對表面濃度,雜質(zhì)數(shù)量,結(jié)深以及梯度等方面的要求,實(shí)際生產(chǎn)中所采用的擴(kuò)散方法往往是兩種方式的結(jié)合,也就是將擴(kuò)散...
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名詞解釋
有限表面源擴(kuò)散
答案:
如果擴(kuò)散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì),在整個擴(kuò)散過程中這層雜志作為擴(kuò)散的雜質(zhì)源,不再有新源補(bǔ)充,這種擴(kuò)散方式稱為有限表面...
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