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兩步法擴(kuò)散
答案:
為了同時(shí)滿足對(duì)表面濃度,雜質(zhì)數(shù)量,結(jié)深以及梯度等方面的要求,實(shí)際生產(chǎn)中所采用的擴(kuò)散方法往往是兩種方式的結(jié)合,也就是將擴(kuò)散...
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名詞解釋
有限表面源擴(kuò)散
答案:
如果擴(kuò)散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì),在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中這層雜志作為擴(kuò)散的雜質(zhì)源,不再有新源補(bǔ)充,這種擴(kuò)散方式稱為有限表面...
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分凝系數(shù)
答案:
對(duì)于固相-液相的界面,由于雜質(zhì)在不同相中的溶解度不一樣,所以雜質(zhì)在界面兩邊材料中分布的濃度是不同的,這就是所謂雜質(zhì)的分凝...
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