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RTP

答案：快速加熱工藝。是一種升溫速度非?？斓?，保溫時(shí)間很短的熱處理方式。

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名詞解釋
結(jié)深
答案：如果擴(kuò)散雜質(zhì)與硅襯底原有雜質(zhì)的導(dǎo)電類型不同，在兩種雜質(zhì)濃度的相等處會(huì)形成PN結(jié)，此深度為結(jié)深。
問答題
【簡(jiǎn)答題】SiO₂-Si界面中存在幾種電荷？對(duì)器件性能有哪些影響？工藝上如何降低它們的密度？
答案：有5種。Li RB⁺ Cs⁺&e...

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