異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管的發(fā)射極效率主要由禁帶寬度差決定,幾乎不受摻雜比的限制
P型雜質(zhì)增加、N型雜質(zhì)降低。
系統(tǒng)知識,電路知識,工具知識,工藝知識
介質(zhì)襯底的背面應(yīng)該完全被低歐姆金屬覆蓋并接地,使行波的電場主要集中在微帶線下面的介質(zhì)中。
增強(qiáng)型NMOS和耗盡型NMOS。
增強(qiáng)型
利用等離子體轟擊被濺射物質(zhì)使其分子或原子逸出,淀積到基片表面形成薄膜
生長緩沖層、溝道區(qū)注入、離子注入、CVD工藝淀積多晶硅、多晶硅摻雜、光刻和刻蝕形成多晶硅柵的圖形。
雙極工藝為基礎(chǔ)的BiCMOS工藝用的多 影響B(tài)iCMOS器件性能的主要部分是雙極部分。