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【簡答題】簡述硅片清洗目標
答案:
去除所有表面沾污(顆粒、有機物、金屬、自然氧化層)
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【簡答題】晶體缺陷根據維數可分為哪四種?
答案:
點缺陷—空位、自填隙等
線缺陷—位錯
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體缺陷
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【簡答題】GaAs相對Si的優(yōu)點和缺點是什么?
答案:
優(yōu)點:
A.比硅更高的電子遷移率,高頻微波信號響應好——無線和高速數字通信
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