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液壓傳動式,磁致伸縮式,流體膜變式和壓電陶瓷式都可以超精密機床的微量進給裝置。
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到目前為止,還沒有一種刀具材料可以是使其刀具的刃口圓弧半徑達到納米級。
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超精密加工是指加工精度高于0.01μm,表面粗糙度Ra小于0.001μm的加工方法
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