問答題

【簡答題】一般的阱區(qū)離子注入調(diào)整電性可分為那三道步驟？功能為何？

答案：阱區(qū)離子注入調(diào)整是利用離子注入的方法在硅片上形成所需要的組件
電子特性，一般包含下面幾道步驟：
①W...

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【簡答題】在STI的形成步驟中有一道liner oxide（線形氧化層）， liner oxide 的特性功能為何？

答案：

【簡答題】在STI的刻蝕工藝過程中，要注意哪些工藝參數(shù)？

答案： ①STI etch（刻蝕）的角度；
②STI etch 的深度；
③S...