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【簡答題】一般的阱區(qū)離子注入調(diào)整電性可分為那三道步驟? 功能為何?
答案:
阱區(qū)離子注入調(diào)整是利用離子注入的方法在硅片上形成所需要的組件
電子特性,一般包含下面幾道步驟:
①W...
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【簡答題】在STI的形成步驟中有一道liner oxide(線形氧化層), liner oxide 的特性功能為何?
答案:
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【簡答題】在STI的刻蝕工藝過程中,要注意哪些工藝參數(shù)?
答案:
①STI etch(刻蝕)的角度;
②STI etch 的深度;
③S...
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