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問答題
【簡答題】什么是擴(kuò)散的相互作用?試舉一例說明其對半導(dǎo)體器件的制造有何影響及其產(chǎn)生的原因。
答案:
當(dāng)兩種不同的雜質(zhì)先后擴(kuò)入同一晶體內(nèi),當(dāng)?shù)诙N雜質(zhì)擴(kuò)散時,第一種雜質(zhì)仍在繼續(xù)擴(kuò)散;第一種雜質(zhì)的后續(xù)擴(kuò)散、最終的分布和結(jié)深的...
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【簡答題】說明氧化氣氛對擴(kuò)散有何影響及原因?
答案:
與中性氣氛相比,在熱氧化氣氛中進(jìn)行的擴(kuò)散,雜質(zhì)的擴(kuò)散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導(dǎo)致自間隙硅原子的產(chǎn)生,故對于硼,...
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【簡答題】根據(jù)空位機(jī)制下的總擴(kuò)散系數(shù)公式,給出本征硅,低濃度摻雜,N型重?fù)诫s及P型重?fù)诫s下的擴(kuò)散系數(shù)公式。
答案:
本征硅的擴(kuò)散系數(shù):硅中空位主要是中性空位;
低摻雜(本征)下的擴(kuò)散系數(shù):雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等(n=...
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