問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。

答案: 與離子注入工藝相比,擴(kuò)散工藝的局限性在于:
1)擴(kuò)散是各向同性的,其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng),因而不適于...
題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】實(shí)際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法?

答案: 干氧的氧化速率最慢,但其氧化層質(zhì)量最好。濕氧的氧化速率快,但其氧化層質(zhì)量不如干氧工藝。實(shí)際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】為什么氧化層厚度越厚,熱氧化生長(zhǎng)的速率越慢?

答案: 根據(jù)熱氧化的生長(zhǎng)機(jī)理,氧化劑(O2或H2O)若要與襯底Si反應(yīng)生成SiO
微信掃碼免費(fèi)搜題