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【簡(jiǎn)答題】請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。
答案:
與離子注入工藝相比,擴(kuò)散工藝的局限性在于:
1)擴(kuò)散是各向同性的,其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng),因而不適于...
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【簡(jiǎn)答題】實(shí)際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法?
答案:
干氧的氧化速率最慢,但其氧化層質(zhì)量最好。濕氧的氧化速率快,但其氧化層質(zhì)量不如干氧工藝。實(shí)際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...
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【簡(jiǎn)答題】為什么氧化層厚度越厚,熱氧化生長(zhǎng)的速率越慢?
答案:
根據(jù)熱氧化的生長(zhǎng)機(jī)理,氧化劑(O
2
或H
2
O)若要與襯底Si反應(yīng)生成SiO
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