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【簡(jiǎn)答題】如何計(jì)算killing ratio?
答案:
藉由defect map與yield map的迭圖與公式的運(yùn)算,可算出某種缺陷對(duì)良率的殺傷力。
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【簡(jiǎn)答題】yield loss analysis的功能為何?
答案:
① 找出對(duì)良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計(jì)算來(lái)找出對(duì)良率影響最大的缺陷種類。
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【簡(jiǎn)答題】何謂yield loss analysis?
答案:
收集并分析各工藝區(qū)間所產(chǎn)生的缺陷對(duì)產(chǎn)品良率的影響以決定改善良率的可能途徑。
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