填空題

設備故障的檢測方法包括（）和（）的故障檢測、材料裂紋及缺陷損傷的故障檢測、設備零部件材料的磨損及腐蝕故障檢測及（）變化引起的故障檢測。

答案：振動；噪聲；工藝參數

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設備故障信息的獲取方法包括直接觀測法、參數測定法、（）定法及設備（）的測定。

答案：磨損殘渣測；性能指標

設備故障診斷具體實施過程為（）、（）、（）、診斷決策。

答案：信息采集；信號處理；狀態(tài)識別

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