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問答題
【簡答題】列舉離子注人優(yōu)于擴散的7點。
答案：
1.精確控制雜質含量。
2.很好的雜質均勻性。
3.對雜質穿透深度有很好的控制。
4.產生...
2.很好的雜質均勻性。
3.對雜質穿透深度有很好的控制。
4.產生...
