問答題

【簡答題】從刻蝕工藝上可以將刻蝕分為什么種類？

答案：

干法刻蝕和濕法刻蝕
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答案：

通過氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)，wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝
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【簡答題】物理氣相淀積主要有哪三種技術(shù)？
答案：

蒸鍍、濺射、分子束外延生長
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