問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】化學(xué)氣象淀積是什么？

答案：

通過(guò)氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)，wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝
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【簡(jiǎn)答題】物理氣相淀積主要有哪三種技術(shù)？
答案：

蒸鍍、濺射、分子束外延生長(zhǎng)
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【簡(jiǎn)答題】晶向指數(shù)表示什么？
答案：

所有相互平行，方向一致的晶向晶面，指數(shù)代表所有相互平行的一組晶面
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