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一般鍍膜設(shè)備上需要機(jī)械泵和擴(kuò)散泵組合起來(lái)作為真空機(jī)組,這主要是因?yàn)殡p泵組合可以提高抽氣速率
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采用單半波濾光片結(jié)構(gòu),獲得的通帶波形比多半波濾光片更加接近矩形
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膜層的有效位相厚度表示為:ndcos,當(dāng)光波斜入射時(shí),對(duì)于s光和p光而言,要分別代入修正后的折射率值進(jìn)行運(yùn)算
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