多項選擇題

新的平坦化方法有哪幾個？（）

A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)
B.無磨粒CMP技術(shù)
C.無應(yīng)力拋光技術(shù)
D.電化學(xué)機械平坦化技術(shù)

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