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問答題

【簡答題】薄層氧化過程需注意哪些要求？現(xiàn)采用的工藝有哪些？

答案：

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【簡答題】在SiO₂系統(tǒng)中存在哪幾種電荷？他們對器件性能有些什么影響？工藝上如何降低他們的密度？

答案：

【簡答題】SiO₂膜網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是什么？氧和雜質(zhì)在SiO₂網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中的作用和用途是什么？對SiO₂膜性能有哪些影響？

答案：

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