某電容測(cè)微儀,其傳感器的圓形極板半徑r=4mm,工作初始間隙d=0.3mm,問(wèn): (1)工作時(shí),如果傳感器與工件的間隙變化量∆d=2µm時(shí),電容變化量是多少? (2)如果測(cè)量電路的靈敏度S1=100mV/pF,讀數(shù)儀表的靈敏度S2=5格/mV,在∆d=2µm時(shí),讀數(shù)儀表的示值變化多少格?
(1)∆C=0.987×10−14F(2)5格