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問答題
【計算題】在p-Si中擴(kuò)磷13分鐘，測得結(jié)深為0.5μm，為使結(jié)深達(dá)到1.5μm，在原條件下還要擴(kuò)散多長時間？然后，進(jìn)行濕氧化，氧化層厚0.2μm時，結(jié)深是多少？（濕氧速率很快， 短時間的氧化，忽略磷向硅內(nèi)部的推進(jìn)）
答案：
