問答題

【簡(jiǎn)答題】化學(xué)氣相淀積（CVD）的概念，有哪五種基本化學(xué)反應(yīng)？

答案： （1）高溫分解：通常在無(wú)氧的條件下，通過加熱化合物分解
（2）光分解：利用輻射使化合物的化學(xué)鍵斷裂分解
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問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述淀積膜的過程的三種不同階段
答案：

（1）晶核形成，成束的穩(wěn)定小晶核形成
（2）聚集成束，也稱為島生長(zhǎng)
（3）形成連續(xù)的膜
問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述濕法腐蝕相比干法刻蝕的優(yōu)點(diǎn)
答案：

（1）對(duì)材料具有高的選擇比
（2）不會(huì)對(duì)器件帶來(lái)等離子體損傷
（3）設(shè)備簡(jiǎn)單
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