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手動關機時,關閉擴散泵加熱,等冷卻50分鐘后,需先關閉MV閥、再關羅茨泵和機械泵。
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手動開機時,打開擴散泵(DP)加熱開關前先需把MV閥打開,否則會影響擴散泵抽速。
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關擴散泵后等待30分鐘就可以關掉設備總電源。
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