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問答題

【簡答題】寫出分辨率（R）公式及簡述提高分辨率的方法。

答案：分辨率是將硅片上兩個相鄰的關(guān)鍵尺寸圖形區(qū)分開的能力。分辨率是光刻中一個重要的性能指標(biāo)。

k為工藝因...

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【簡答題】簡述正膠和負(fù)膠區(qū)別。

答案：

正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負(fù)膠：曝光的部分不易溶解。負(fù)膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。