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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述氣相外延生長(zhǎng)（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。
答案：
是讓生長(zhǎng)原材料以氣體或電漿粒子的形式傳輸至芯片表面，這些粒子在失去部份的動(dòng)能后被芯片表面晶格吸附 （Adsorb），通常...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】外延生長(zhǎng)有哪些顯著優(yōu)點(diǎn)？
答案：
（1）外延生長(zhǎng)中，外延層中的雜質(zhì)濃度可以方便地通過(guò)控制反應(yīng)氣流中的雜質(zhì)含量加以調(diào)節(jié)，而不依賴于襯底中的雜質(zhì)種類與摻雜水平...
問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是液相外延、氣相外延和分子束外延？
答案：
（1）液相外延：采用從溶液中再結(jié)晶原理的外延生長(zhǎng)方法稱液相外延；
（2）氣相外延：使化學(xué)氣體中半導(dǎo)體成分結(jié)晶在...
（2）氣相外延：使化學(xué)氣體中半導(dǎo)體成分結(jié)晶在...
