下圖為超精密機床上彈性變形式微量進給機構(gòu),簡述它的工作原理。
超精密加工的主要相關(guān)技術(shù):精密加工機床;金剛石刀具;精密切削機理;穩(wěn)定的加工環(huán)境;誤差補償技術(shù);精密測量技術(shù)。