問答題

【簡答題】簡述硅氣相外延的過程？

答案：

在氣相外延生長過程中，有兩步：
質量輸運過程－－反應劑輸運到襯底表面
表面反應過程－－在襯底表面發(fā)生化學反應釋放出硅原子
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答案：

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